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【英文标准名称】:Surfacechemicalanalysis-Sputterdepthprofiling-Optimizationusinglayeredsystemsasreferencematerials
【原文标准名称】:表面化学分析.溅射深度剖面测定.采用作为参考材料的成层系统最优化
【标准号】:BSISO14606-2001
【标准状态】:现行
【国别】:英国
【发布日期】:2001-01-15
【实施或试行日期】:2001-01-15
【发布单位】:英国标准学会(GB-BSI)
【起草单位】:BSI
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:表面性质;化学分析和试验;显微分析;参比状态;光谱化学分析;光谱学;电子发射;叠层板材;表面化学;轮廓测量;X射线;控制样品;辐射测量;螺旋钻;质谱学;深度
【英文主题词】:Atomization;Chemicalanalysisandtesting;Definition;Definitions;Depthprofile;Determinationofcontent;Electronspectroscopy;Finishes;Ionbeams;Layers;Optimization;Referencematerials;X-rayspectrometry
【摘要】:ThisInternationalStandardgivesguidanceontheoptimizationofsputter-depthprofilingparametersusingappropriatesingle-layeredandmultilayeredreferencematerialsinordertoachieveoptimumdepthresolutionasafunctionofinstrumentsettingsinAugerelectronspectroscopy,X-rayphotoelectronspectroscopyandsecondaryionmassspectrometry.ThisInternationalStandardisnotintendedtocovertheuseofspecialmultilayeredsystemssuchasdeltadopedlayers.
【中国标准分类号】:A04
【国际标准分类号】:71_040_40
【页数】:24P.;A4
【正文语种】:英语